[发明专利]溅射靶材的绑定材料及绑定方法有效
申请号: | 201910571560.5 | 申请日: | 2019-06-28 |
公开(公告)号: | CN110184573B | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 林刘毓;张力平;丘立安 | 申请(专利权)人: | 成都先锋材料有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 李旦华 |
地址: | 610000 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明提供一种溅射靶材的绑定材料,属于溅射镀膜技术领域。所述绑定材料为在硅胶中掺入碳纳米管形成CNT硅胶,加入导电分散剂后机械搅拌得到。本发明还提供绑定靶材的绑定方法,将绑定材料涂布在背板及靶材的结合面,使结合面相互接触并施以压力,在25℃~100℃温度下掺入碳纳米管的硅胶充分固化实现靶材的绑定。本发明将碳纳米管掺入到硅胶中,利用碳纳米管的导电、导热性能使原本不具导电且导热不佳的硅胶,变成导热且导电的硅胶,并将具备导电导热的硅胶用于靶材的绑定。采用本发明绑定材料,使平面靶、旋转靶、厚靶材、薄靶材、金属、非金属、氧化物陶瓷靶材及含硫族难绑定的靶材都可以得到稳定、安全、低温的绑定。 | ||
搜索关键词: | 溅射 绑定 材料 方法 | ||
【主权项】:
1.一种溅射靶材的绑定材料,其特征在于,所述绑定材料包括硅胶和碳纳米管。
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