[发明专利]一种GT35球碗零件内表面TiN厚膜制备方法在审
| 申请号： | 201910571586.X | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN112144013A | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 赵显伟;毕新儒 | 申请（专利权）人： | 陕西航天时代导航设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/02;C23C14/32 |
| 代理公司： | 宝鸡市新发明专利事务所 61106 | 代理人： | 席树文 |
| 地址： | 721006 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种GT35球碗零件内表面TiN厚膜制备方法，球碗零件置于真空炉内抽真空并加热，通入氩气进行氩离子刻蚀，氩离子刻蚀完成后开启靶材对零件表面镀打底层，打底层将零件表面全覆盖后对零件表面沉积氮化钛过渡层，过渡层包括氮化钛第一过渡层和氮化钛第二过渡层，沉积氮化钛第一过渡层的弧电电流为60A弧电电压为180V，沉积时长为30分钟；在该氮化钛第一过渡层基础上沉积氮化钛层第二过渡层，沉积该氮化钛第二过渡层的弧电电流为120A弧电电压200V，沉积时长为20分钟，氮化钛第一过渡层和氮化钛第二过渡层交替沉积多次直至总厚度大于等于10μm形成过渡层，在过渡层上沉积氮化钛功能层，功能层沉积完成后即可冷却出炉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 gt35 零件 表面 tin 制备 方法 | ||
【主权项】：
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