[发明专利]一种真空互联样品转移装置及转移方法在审

专利信息
申请号: 201910572259.6 申请日: 2019-06-28
公开(公告)号: CN110286244A 公开(公告)日: 2019-09-27
发明(设计)人: 董国材;张祥;张金龙 申请(专利权)人: 常州国成新材料科技有限公司
主分类号: G01N35/10 分类号: G01N35/10;G01N1/36
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 213000 江苏省常*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种真空互联样品转移装置及转移方法,所述设备包括:进样室、直线传输段、圆形传样腔、抽真空装置及充气装置,所述进样室与所述直线传输段之间设置一第一阀门,以使所述进样室与所述直线传输段连通或隔断,所述圆形传样腔与二对接装置连接,并可通过所述对接装置与分别转出目标设备、转入目标设备连接,所述圆形传样腔可将样品在不同外部目标设备间传递样品。本发明的优点在于,无论转移装置是否与外部目标设备相连,目标样品始终处于超高真空的环境中,使得在样品存放及转移过程中,且能够避免不同设备间机械振动等噪声的互相干扰。
搜索关键词: 直线传输 进样室 样品转移装置 对接装置 目标设备 外部目标 设备间 互联 抽真空装置 超高真空 充气装置 互相干扰 机械振动 目标样品 样品存放 转移装置 隔断 阀门 转出 连通 噪声 转入 传递
【主权项】:
1.一种真空互联样品转移装置及转移方法,其特征在于,所述设备包括:进样室、直线传输段、圆形传样腔、抽真空装置及充气装置,所述进样室与所述直线传输段之间设置一第一阀门,以使所述样室与所述直线传输段连通或隔断,所述圆形传样腔与二对接装置连接,并可通过所述对接装置与两个外部目标设备连接,所述转移装置还包括一与所述进样室的抽真空装置及一充气装置,所述抽真空装置用于对所述转移装置抽取真空,以使所述转移装置为真空环境,所述充气装置为所述进样室充气,以使所述进样室具有气体环境。
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