[发明专利]一种不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理方法及系统有效

专利信息
申请号: 201910572503.9 申请日: 2019-06-26
公开(公告)号: CN110377770B 公开(公告)日: 2022-11-04
发明(设计)人: 许锦海;唐振中;陈相政;李应浪 申请(专利权)人: 珠海泰芯半导体有限公司
主分类号: G06F16/51 分类号: G06F16/51;G06F16/58
代理公司: 广东朗乾律师事务所 44291 代理人: 闫有幸
地址: 519000 广东省珠海市香洲区高*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理方法及系统,所述处理方法包括以下步骤:选择不同测试站点的MAP图文件;显示不同测试站点的MAP图文件的文件名;比较显示的各个测试站点MAP图文件的文件名是否正确以及不同测试站点的MAP图文件的批号、刻号以及数量是否一致,若是,进入下一步,若否,则报错退出;合并不同测试站点晶圆MAP图文件;本发明提供的不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理方法及系统对不同测试站点产生的晶圆MAP图进行批量合并,相比手动合并,更高效;与此同时,本发明重新计算晶圆MAP图文件合并后的良率,保证后续封装取晶粒的正确性,避免损失,可以更准确地完成不同测试站点晶圆MAP图文件的合并,而且提高封装效率。
搜索关键词: 一种 不同 测试 站点 map 图文 合并 处理 方法 系统
【主权项】:
1.一种不同测试站点晶圆MAP图文件合并处理方法,其特征在于,包括以下步骤:S100,选择不同测试站点的MAP图文件;S200,显示不同测试站点的MAP图文件的文件名;S300,比较显示的各个测试站点MAP图文件的文件名是否正确以及不同测试站点的MAP图文件的批号、刻号以及数量是否一致,若是,进入步骤S400,若否,则报错退出;S400,给系统配置合并后的MAP图文件参数;S510,读取不同测试站点的第一组同一批号和刻号的MAP图文件;S520,将不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的晶粒对应;S530,比较不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件对应晶粒的标记,判断对应晶粒是否全部为好的晶粒,若是,将对应晶粒仍然标记为好的晶粒,若否,将对应晶粒标记为坏的晶粒,直到完成不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件所有对应晶粒的重新标记;S540,根据不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件所有对应晶粒的重新标记,重新计算不同测试站点同一批号和刻号的MAP图文件的好的晶粒的数量、坏的晶粒的数量以及良率;S550,按照步骤S420给系统配置的合并后的MAP图文件参数,步骤S430重新标记的对应晶粒,步骤S440重新计算得到的好的晶粒的数量、坏的晶粒的数量以及良率,生成不同测试站点的当前组同一批号和刻号的MAP图文件合并后的文件;S560,存储合并后的文件;S570,读取不同测试站点的下一组同一批号和刻号的MAP图文件,返回步骤S520,直到完成步骤S100选择的不同测试站点所有组同一批号和刻号的MAP图文件的合并。
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