[发明专利]用于感应位置编码器的标尺构造有效
申请号: | 201910572670.3 | 申请日: | 2019-06-28 |
公开(公告)号: | CN110657826B | 公开(公告)日: | 2022-06-28 |
发明(设计)人: | T.S.库克;J.A.希契曼;加藤庆显 | 申请(专利权)人: | 株式会社三丰 |
主分类号: | G01D5/14 | 分类号: | G01D5/14 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 贺紫秋 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种感应类型位置编码器包括标尺、检测器部分和信号处理器。标尺沿测量轴线布置的信号调制元件(SME)的周期性图案,具有空间波长W1。图案中的一类SME包括相似的导电板或环路。检测器部分包括传感元件且磁场产生线圈产生变化磁通量。传感元件可以包括沿测量轴线布置的导电环路部分且配置为提供检测器信号,该检测器信号对通过邻近SME提供的变化磁通量上的局部效应做出响应。在各种实施方式中,第一类型的SME具有沿测量轴线方向的平均尺寸DSME,其大于DSEN且至少为0.55×W1且最大为0.8×W1,其提供有利的检测器信号特性。 | ||
搜索关键词: | 用于 感应 位置 编码器 标尺 构造 | ||
【主权项】:
1.一种电子位置编码器,能用于沿测量轴线方向测量两个元件之间的相对位置,该电子位置编码器包括:/n标尺,沿测量轴线方向延伸,其包括周期性标尺图案,所述周期性标尺图案至少包括第一类型的信号调制元件,其中周期性标尺图案具有空间波长W1,且第一类型的信号调制元件包括对应于空间波长W1沿测量轴线方向定位的相似的导电板或相似导电环路;/n检测器部分,配置为安装在周期性标尺图案附近且沿测量轴线方向相对于周期性标尺图案运动,检测器部分包括:/n磁场产生线圈,固定在基板上,磁场产生线圈围绕内部区域,该内部区域在操作期间对准信号调制元件的周期性标尺图案,磁场产生线圈响应于线圈驱动信号在内部区域中产生变化磁通量;和/n一组传感元件,沿测量轴线方向布置且固定在基板上,该组传感元件的构件包括导电环路或导电环路部分,所述导电环路或导电环路部分对于与内部区域对准或重叠的传感元件部分具有沿测量轴线方向的额定传感元件宽度尺寸DSEN,其中该组传感元件配置为提供检测器信号,该检测器信号对通过标尺图案的邻近信号调制元件提供的变化磁通量上的局部效应做出响应;和/n信号处理结构,其操作地连接到检测器部分以提供线圈驱动信号,且基于从检测器部分输入的检测器信号确定检测器部分和标尺图案之间的相对位置,/n其中:/n第一类型的信号调制元件包括在操作期间与内部区域对准或重叠的有效区域,且有效区域具有沿测量轴线方向的平均尺寸DSME,其中DSME大于DSEN,且DSME至少为0.55×W1且最大为0.8×W1。/n
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