[发明专利]检测光学系统任意波长透射波前的方法

摘要

本发明提供了两种检测光学系统任意波长透射波前的方法，一种是利用4种波长为λ1～λ4的激光干涉仪分别对复消色差光学系统进行检测，进而通过Zernike多项式拟合波长为λn的光学系统的透射波前；另一种是通过利用4种波长为λ1～λ4的检测装置分别对光学系统进行检测，进而通过离散点波前像差公式得到波长为λn的光学系统完整的透射波前。这两种方法均能够应用在单波长系统、消色差系统以及复消色差系统中，从而解决主要的透射式光学系统任意波长波前检测的问题。不仅使得特殊波长的激光干涉仪的检测范围变大，而且当需要检测一些特殊的光学系统时，也不需要使用造价昂贵的特殊波长的激光干涉仪进行检测，节约了检测成本。

主权项

1.一种检测光学系统任意波长透射波前的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一，利用4种波长为λ₁～λ₄的激光干涉仪分别对光学系统进行检测，分别得到所述光学系统在波长为λ₁～λ₄的Zernike多项式Z₁(λ₁)、Z₂(λ₁)、……Z_k(λ₁)以及Z₁(λ₄)、Z₂(λ₄)、……Z_k(λ₄)；步骤二，将步骤一得到的Zernike多项式代入公式：式中，i＝1，2，3，…，k，k≤37，m＝1，2，3，4，当400nm≤λ₁≠…≠λ_m≠λ_n≤1000nm时，1≤X₁≤4.9，5≤X₂≤8.7，0.1≤X₃≤1.4，8.3≤X₁+X₂≤10.6，当300nm≤λ₁≠…≠λ_m≠λ_n≤2500nm时，2.7≤X₁≤3.6，6.2≤X₂≤7.3，0.9≤X₃≤1，9.8≤X₁+X₂≤10，计算参数A_i、B_i、C_i和D_i的值；步骤三，将计算得到的A_i、B_i、C_i和D_i的值代入公式(1)中，计算波长为λ_n的光学系统的Zernike多项式Z_k(λ_n)；以及步骤四，根据Z_k(λ_n)拟合波长为λ_n的光学系统的透射波前。