[发明专利]一种高频声表面波谐振器及其制备方法有效
| 申请号： | 201910576571.2 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110138356B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 欧欣;张师斌;周鸿燕;王成立;郑鹏程;黄凯 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H3/04;H03H3/02 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种高频声表面波谐振器及其制备方法，所述高频声表面波谐振器包括：高波速支撑衬底，位于所述高波速支撑衬底上表面的压电膜，及位于所述压电膜上表面的顶电极；其中，所述高波速支撑衬底中传播的体波波速大于所述压电膜中传播的目标弹性波波速。通过本发明提供的高频声表面波谐振器及其制备方法，解决了现有声表面波谐振器的工作频率较低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高频 表面波 谐振器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高频声表面波谐振器，其特征在于，所述高频声表面波谐振器包括：高波速支撑衬底，位于所述高波速支撑衬底上表面的压电膜，及位于所述压电膜上表面的顶电极；其中，所述高波速支撑衬底中传播的体波波速大于所述压电膜中传播的目标弹性波波速。
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