[发明专利]一种金刚线切割单晶硅废料在线制造高纯工业硅的方法在审
| 申请号： | 201910576738.5 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110217797A | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | 吉红旗;周济;李延伟 | 申请（专利权）人： | 陕西宝德赛肯光电材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 杜娟 |
| 地址： | 710201 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开的一种金刚线切割单晶硅废料在线制造高纯工业硅的方法，首先，将金刚石线切割制备硅片过程中产生硅细粉收集到回收槽中，将回收槽中的硅细粉锯末料加水降温稀释后流入压滤机；其次，将压滤机中的含硅溶液进行脱水挤压后，送入造粒机进行造粒，经造粒后送入烘干机布料器，经过烘干后，得到外径为5mm～10mm，长度为10mm～25mm硅粒；最后，将步骤2得到的硅粒置于真空中频感应炉中进行熔炼得到高纯工业硅。本发明公开的方法，实现了边切割单晶硅，边收集硅废料，边提纯硅废料，实现了废物利用，缩短了工艺流程，使单晶硅切片企业的固废不出厂就可以回收利用，达到循环企业标准，并且产生了高的附加值。 | ||
| 搜索关键词： | 工业硅 高纯 单晶硅 单晶硅废料 在线制造 硅废料 硅细粉 回收槽 线切割 压滤机 硅粒 造粒 送入 真空中频感应炉 金刚石线切割 废物利用 含硅溶液 回收利用 企业标准 脱水挤压 锯末 熔炼 工艺流程 布料器 烘干机 造粒机 提纯 硅片 烘干 加水 切片 稀释 制备 出厂 切割 | ||
【主权项】：
1.一种金刚线切割单晶硅废料在线制造高纯工业硅的方法，其特征在于，具体操作过程包括如下步骤：步骤1，将真空中频感应熔炼炉通过管路连接在金刚线切割设备的下游，启动金刚线切割设备，将金刚线切割制备硅片过程中产生硅细粉收集到回收槽中，将回收槽中的硅细粉锯末料加水降温稀释后流入压滤机；步骤2，将压滤机中的含硅溶液进行脱水挤压，脱水到40％～50％，温度为30℃～50℃时，送入造粒机进行造粒，经造粒后送入烘干机布料器，经过烘干后，得到外径为5mm～10mm，长度为10mm～25mm硅粒；步骤3，将步骤2得到的硅粒运送到置于真空中频感应炉中进行熔炼，将熔炼后的硅液浇注到置放在真空腔体内的硅锭模中，静置降温20min后拉出真空腔体，自然风冷之后使用自带夹具将硅锭吊出得到高纯工业硅。
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