[发明专利]一种整体叶轮的绿色环保混合化学机械抛光液与抛光方法在审
| 申请号： | 201910578059.1 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110183971A | 公开（公告）日： | 2019-08-30 |
| 发明（设计）人： | 张振宇;廖龙兴;孟祥东;郜培丽 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;B24B31/00 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 温福雪;梅洪玉 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种整体叶轮的绿色环保混合化学机械抛光液与抛光方法，该绿色环保混合化学机械抛光液包括氧化剂、pH调节剂、添加剂、去离子水和混合磨料。抛光液是以过氧化氢、磷酸等为主要成分，不含硝酸、硫酸等强腐蚀性物质，混合磨料的主要成分为自制的多边形陶瓷磨粒。所述抛光方法为整体叶轮在配制的绿色环保混合化学机械抛光液中做旋转运动，通过抛光液的化学与物理耦合作用，可极大的消除其表面各部位的刀痕纹路，改善表面光洁度，所述抛光液绿色环保。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光液 绿色环保 混合化学 整体叶轮 抛光 混合磨料 氧化剂 刀痕 纹路 表面光洁度 腐蚀性物质 过氧化氢 去离子水 陶瓷磨粒 物理耦合 硝酸 磷酸 等强 硫酸 添加剂 配制 自制 | ||
【主权项】：
1.一种整体叶轮的绿色环保混合化学机械抛光液，其特征在于：该绿色环保混合化学机械抛光液包括氧化剂、pH调节剂、添加剂、去离子水和混合磨料；所述氧化剂为30wt％过氧化氢溶液和/或20wt％过氧乙酸溶液，其在抛光液中含量为250～400ml/L；所述pH调节剂为谷氨酸晶体和/或85wt％磷酸溶液，调控抛光液的pH为1.5～3.1；所述添加剂包括三聚磷酸钠晶体，其在抛光液中含量为5～9g/L，还包括月桂酰基谷氨酸晶体，其在抛光液中含量为5～10g/L；所述磨料包括多边形陶瓷磨粒和碳化硅磨粒，其中碳化硅磨粒粒径为150μm，其在抛光液中的含量为0.45～1.5g/ml；多边形陶瓷磨粒粒径大小为1000～2500μm，其在抛光液中的含量为1.1～3.0g/ml。
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