[发明专利]匀胶机吸盘

摘要

本发明公开了一种匀胶机吸盘，该吸盘用来处理基片，其结构包括：吸纳部和支撑连接部。吸纳部用于吸附基片，吸纳部上设有多个相连通的吸附气道，吸附气道包括多个第一气道和多个第二气道，多个第一气道沿吸纳部的径向间隔设置，多个第二气道分别连通多个第一气道，第二气道与抽气口连接。吸纳部设于支撑连接部上，支撑连接部用于支撑基片。本发明实施例的匀胶机吸盘，通过设置支撑连接部，可为基片提供有力的支撑，防止基片局部塌陷；位于支撑连接部上的吸纳部，可实现基片的稳定吸附，使匀胶过程中基片位置保持固定，不发生偏移。设在吸纳部上的第一气道沿着径向间隔设置，使基片在径向的不同位置处均可被第一气道吸附，可吸附不同尺寸的基片。

主权项

1.一种匀胶机吸盘，其特征在于，所述匀胶机吸盘用来处理基片，包括：吸纳部，所述吸纳部用于吸附所述基片，所述吸纳部上设有多个相连通的吸附气道，所述吸附气道包括多个第一气道和多个第二气道，多个所述第一气道沿所述吸纳部的径向间隔设置，多个所述第二气道分别连通多个所述第一气道，所述第二气道连接有抽气口；支撑连接部，所述吸纳部设于所述支撑连接部上，所述支撑连接部用于支撑所述基片。