[发明专利]度量工具及侦测其中电离原子的方法与带电粒子侦测系统有效
| 申请号： | 201910578238.5 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110658359B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 洪世玮;李正中 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/00 | 分类号： | G01Q60/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本揭露提供一种度量工具、带电粒子侦测系统及用于侦测半导体度量工具中的电离原子的方法。度量工具包括粒子产生系统、局部电极、粒子捕捉装置、位置侦测器与处理器。粒子产生系统配置以从样品中移除粒子。局部电极配置以产生吸引电场，并将被移除的粒子引向局部电极的孔径。粒子捕捉装置配置以在样品与局部电极之间的区域周围产生排斥电场，并将被移除的粒子排斥到孔径。位置侦测器配置以确定被移除的粒子的二维位置座标与被移除的粒子的飞行时间。处理器配置以基于飞行时间来辨识被移除的粒子。 | ||
| 搜索关键词： | 度量 工具 侦测 其中 电离 原子 方法 带电 粒子 系统 | ||
【主权项】：
1.一种度量工具，其特征在于，包含：/n一粒子产生系统，配置以从一样品中移除一粒子；/n一局部电极，配置以产生一吸引电场并将被移除的该粒子引向该局部电极的一孔径；/n一粒子捕捉装置，配置以在该样品与该局部电极之间的一区域的周围产生一排斥电场并将被移除的该粒子排斥到该孔径；/n一位置侦测器，配置以确定被移除的该粒子的二维位置座标与被移除的该粒子的一飞行时间；以及/n一处理器，配置以基于该飞行时间来辨识被移除的该粒子。/n
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