[发明专利]激光产生电浆极紫外辐射源设备及其错误恢复的方法、诊断该设备的RF产生器的方法有效
| 申请号： | 201910578244.0 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110658693B | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 叶展宏;陈振杰;蔡政谚;陈立锐;童宇轩;王文志;陈信良 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种激光产生电浆极紫外辐射源设备及其错误恢复的方法、诊断该设备的RF产生器的方法。在一种诊断激光产生电浆极紫外(LPP EUV)辐射源设备的RF产生器的方法中，将测试系统连接至该LPP EUV辐射源设备的该RF产生器。通过改变该RF产生器的输入功率由该测试系统量测输出功率。使用计算机系统分析该已量测输出功率。基于该经分析的已量测输出功率来判定该RF产生器是否正适当地操作。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 产生 电浆极 紫外 辐射源 设备 及其 错误 恢复 方法 诊断 rf 产生器 | ||
【主权项】：
1.一种诊断激光产生电浆极紫外(LPP EUV)辐射源设备的RF产生器的方法，其特征在于，该方法包括：/n将一测试系统连接至该LPP EUV辐射源设备的该RF产生器；/n当改变该RF产生器的一输入功率时由该测试系统量测一输出功率；/n使用一计算机系统分析该已量测输出功率；/n基于该经分析的已量测输出功率来判定该RF产生器是否正适当地操作。/n
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