[发明专利]一种硅纳米线芯片及基于硅纳米线芯片的质谱检测方法有效
| 申请号： | 201910579528.1 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110203876B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 邬建敏;陈晓明 | 申请（专利权）人： | 杭州汇健科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B1/00 | 分类号： | B81B1/00;B81B7/04;B81C1/00;G01N27/62 |
| 代理公司： | 杭州裕阳联合专利代理有限公司 33289 | 代理人： | 金方玮 |
| 地址： | 310000 浙江省杭州市滨*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种硅纳米线芯片及基于硅纳米线芯片的质谱检测方法，检测方法，包括如下步骤：步骤一，制造硅纳米线芯片；将单晶硅片经表面洗涤预处理后经过金属辅助刻蚀、碱后刻蚀得到具有尖端的硅纳米线芯片；对硅纳米线芯片进行表面化学或纳米材料修饰；步骤二，硅纳米线芯片质谱性能评估；步骤三，顶端接触取样及原位离子化质谱检测；本发明充分利用硅纳米线芯片的纳米结构特性和半导体特性，将接触式萃取转印和免基质质谱检测集合于一体，大大简化了复杂样本的采集、预处理和检测过程；本发明制造出的硅纳米线芯片能够同时具备吸附、萃取功能与质谱检测功能，还能保留有空间异质性的样本的原位信息。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 芯片 基于 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种硅纳米线芯片，其特征在于，制造过程如下：步骤一，将单晶硅片经表面洗涤预处理后经过金属辅助刻蚀、碱后刻蚀得到具有尖端的硅纳米线芯片；步骤二，对硅纳米线芯片进行表面化学或纳米材料修饰，所述表面化学修饰包括：氨基修饰，羧基修饰，烷基链修饰；所述纳米材料修饰包括：金属纳米颗粒修饰，金属氧化物纳米颗粒修饰，碳纳米材料修饰。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州汇健科技有限公司，未经杭州汇健科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910579528.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：加油站集成控制系统
- 下一篇：基于硅纳米线阵列的微富集器芯片及制备方法
