[发明专利]硒化铟靶材的制备模具及制备方法在审
| 申请号： | 201910579741.2 | 申请日： | 2019-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN110256080A | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 白平平;童培云;白向钰;谢小林;赵佳 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/547 | 分类号： | C04B35/547;C04B35/622;C04B35/645 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种硒化铟靶材的制备模具，模具包括上方开口且中空的外模和上封盖，外模形成一圆筒形的装料空间，上封盖包括与外模盖合的盖面和自盖面向上凸伸的封盖柄，封盖柄上开设有真空抽气孔，模具还包括垫设于外模内的若干石墨纸和支撑片。本发明同时提出一种硒化铟靶材的制备方法。该制备模具和制备方法采用热等静压技术制备高密度、低电阻的硒化铟靶材，所制备得到的硒化铟靶材的密度达到99%以上、靶材1cm间的电阻值低于1200Ω/cm，所制备得到的硒化铟靶材适用于半导体镀膜。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 硒化铟 制备 外模 制备模具 上封盖 封盖 盖面 模具 热等静压技术 半导体镀膜 真空抽气孔 上方开口 装料 低电阻 石墨纸 圆筒形 支撑片 中空的 电阻 盖合 凸伸 | ||
【主权项】：
1.一种硒化铟靶材的制备模具，其特征在于：模具包括上方开口且中空的外模和上封盖，外模形成一圆筒形的装料空间，上封盖包括与外模盖合的盖面和自盖面向上凸伸的封盖柄，封盖柄上开设有真空抽气孔，模具还包括垫设于外模内的若干石墨纸和支撑片。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于先导薄膜材料（广东）有限公司，未经先导薄膜材料（广东）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910579741.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
