[发明专利]压力传感装置、压力传感装置的驱动方法及制作方法有效
| 申请号： | 201910580870.3 | 申请日： | 2019-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN110243504B | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 王林志;席克瑞;李小和;刘金娥;林柏全 | 申请（专利权）人： | 上海中航光电子有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G01L9/08 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201108 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开一种压力传感装置、压力传感装置的驱动方法及制作方法，压力传感装置包括相对设置的第一电极层和第二电极层，设置在第一电极层和第二电极层之间的压力传感层，压力传感层在压力传感装置感测到压力时，改变第二电极层输出的电信号，还包括依次层叠设置于第二电极层远离压力传感层一侧的栅极层、第一绝缘层、有源层和源漏极层，源漏极层包括源极和漏极，源极或漏极与第一电极层电连接，栅极层与第二电极层电连接。本发明实施例提供的技术方案通过压力传感层在压力传感装置感测到压力时，改变第二电极层输出的电信号，源漏极层将第二电极输出的电信号进行放大后由源极或漏极输出，实现压力传感装置的对压力信号的高灵敏度检测。 | ||
| 搜索关键词： | 压力 传感 装置 驱动 方法 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感装置，其特征在于，包括：相对设置的第一电极层和第二电极层，设置在所述第一电极层和所述第二电极层之间的压力传感层；所述压力传感层用于在压力传感装置感测到压力时，改变所述第二电极层输出的电信号；还包括依次层叠设置于所述第二电极层远离压力传感层一侧的栅极层、第一绝缘层、有源层和源漏极层；所述源漏极层包括源极和漏极，所述源极或所述漏极与所述第一电极层电连接；所述栅极层与所述第二电极层电连接。
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