[发明专利]基于二维金属有机框架薄膜材料的有机自旋阀器件及制备方法有效

专利信息
申请号: 201910581505.4 申请日: 2019-06-29
公开(公告)号: CN112151671B 公开(公告)日: 2022-08-23
发明(设计)人: 陈龙;金朝;宋肖瑜;王新月 申请(专利权)人: 天津大学
主分类号: H01L43/14 分类号: H01L43/14;H01L43/06;H01L43/08;C23C14/35;C23C14/08;C23C14/04;C23C14/20;C23C14/24;C23C26/00;C23C28/00
代理公司: 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 代理人: 曹玉平
地址: 300072*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明公开了一种基于二维金属有机框架薄膜材料的有机自旋阀器件及制备方法,制备步骤为:(1)用磁控溅射的方法在基板上制备出条形的镧锶锰氧底电极,得到带有条形镧锶锰氧底电极的基板;(2)将步骤(1)的基板浸入氨基硅烷溶液中反应,取出,洗涤,干燥;(3)将铜盐、镍盐或钴盐溶配成溶液A,将有机配体配成溶液B;(4)将步骤(2)获得的产物依次浸于溶液A和溶液B浸泡;(5)干燥;通过条形掩膜板,在步骤(5)获得的产物的上表面,蒸镀一层金属钴薄膜作顶电极,再蒸镀金薄膜作保护层即得。本发明的方法,逐层自组装方法可有效解决二维金属有机框架材料难溶解、不易成膜的问题,简单、成本低,对设备要求不高,适合规模化生产。
搜索关键词: 基于 二维 金属 有机 框架 薄膜 材料 自旋 器件 制备 方法
【主权项】:
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