[发明专利]一种声压信号放大结构

摘要

本发明公开了一种声压信号放大结构，包括外壳(1)、一级敏感膜(2)、连杆(3)、二级敏感膜(4)、终端敏感膜(5)，用于对外部加载的声压进行放大。即，外部声压作用到一级敏感膜，使一级敏感膜发生形变，而作用到一级敏感膜表面的声压通过连杆进行放大，并传递到二级敏感膜。由于二级敏感膜与终端敏感膜形成密封腔，则二级敏感膜受连杆作用而产生形变，进而引起密封腔压强变化，并作用到终端敏感膜。由此，终端敏感膜感受的声压为放大后的声压。该放大后的声压信号可通过光纤检测或电学检测方式，获取该终端敏感膜的中心挠度变化，从而实现待测声压的测量。本发明具有结构新型、体积小、声压增敏，并可拓展至MEMS工艺实现外结构封装。

主权项

1.一种声压信号放大结构，其特征在于：包括外壳(1)、一级敏感膜(2)、连杆(3)、二级敏感膜(4)、终端敏感膜(5)，外壳(1)为刚性结构，包含两个腔体结构；一级敏感膜(2)固定于外壳(1)上表面，形成周边固支的边界条件，作为声压信号的接收端；连杆(3)连接一级敏感膜(2)与二级敏感膜(4)，使两者受到声压作用后共同运动；一级敏感膜(2)与二级敏感膜(4)以及外壳构成第一个密封腔；二级敏感膜(4)固定在外壳(1)内部，形成周边固支的边界条件，并与终端敏感膜(5)以及外壳(1)构成第二个密封腔；终端敏感膜(5)固定于外壳(1)下表面，形成周边固支的边界条件，作为声压放大信号的检测端。