[发明专利]一种氦气的循环纯化系统及循环纯化方法在审
| 申请号： | 201910583628.1 | 申请日： | 2019-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN110203895A | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 王志高;吴海雷;马传龙 | 申请（专利权）人： | 苏州睿分电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B23/00 | 分类号： | C01B23/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市苏州工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种氦气循环纯化系统及方法，所述的氦气循环纯化系统按照氦气流向包括依次连接供气装置和循环单元；所述的循环单元包括闭环循环连接的高压罐、用气设备、低压罐和压缩机，所述供气装置连接高压罐的进气口；所述的氦气循环纯化系统还包括纯化单元，所述纯化单元的进气口和出气口分别连接高压罐的出气口和低压罐的进气口。本发明设计了一种新型的氦气循环工艺，利用高压罐和低压罐之间的压差作为氦气流动的驱动力，通过纯化单元进行实时纯化。相对于集中回收，间歇纯化，本发明提供的循环纯化系统可以实现实时的过滤纯化，对现有设备的改造较小、能耗和投资成本较低、氦气纯度维持稳定等多种优势。 | ||
| 搜索关键词： | 循环纯化系统 氦气 高压罐 进气口 低压罐 循环单元 出气口 供气装置连接 闭环循环 供气装置 氦气纯度 集中回收 间歇纯化 维持稳定 现有设备 循环工艺 依次连接 用气设备 氦气流 驱动力 压缩机 压差 过滤 能耗 流动 改造 投资 | ||
【主权项】：
1.一种氦气循环纯化系统，其特征在于，所述的氦气循环纯化系统按照氦气流向包括依次连接的供气装置和循环单元；所述的循环单元包括闭环循环连接的高压罐、用气设备、低压罐和压缩机，所述供气装置连接高压罐的进气口；所述的氦气循环纯化系统还包括纯化单元，所述纯化单元的进气口和出气口分别连接高压罐的出气口和低压罐的进气口。
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