[发明专利]一种高灵敏度的MEMS触觉传感器结构有效
| 申请号： | 201910583731.6 | 申请日： | 2019-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN110411615B | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 董林玺;刘沙沙 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 周希良 |
| 地址： | 310018 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高灵敏度的MEMS触觉传感器结构。本发明包括电容感应单元、支撑梁、压阻感应单元和后空腔，所述的电容感应单元由上下两片嵌入金属的可变形电极膜组成，其中位于上部的可变形电极膜的下方还设置有内凸起；所述支撑梁一端连接在电容感应单元的下部的可变形电极膜，另一端连接压阻感应单元，由此连通两种感应单元；所述的压阻感应单元由四对双层压阻梁组成，所述后空腔由硅衬底蚀刻凹坑形成，用于给压阻感应单元形变的空间。本发明通过改变感应单元结构后，在同样的负载下，响应变化更明显，传感器更灵敏，并且依然实现了两种感测单元的集成，扩大了传感器的感测范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 灵敏度 mems 触觉 传感器 结构 | ||
【主权项】：
1.一种高灵敏度的MEMS触觉传感器结构，包括电容感应单元、支撑梁、压阻感应单元和后空腔，其特征在于：所述的电容感应单元由上下两片嵌入金属的可变形电极膜组成，用于检测较小的负载，在所述电容感应单元左右两端设计开口沟槽，用于降低电容结构的刚度；其中位于上部的可变形电极膜的下方还设置有内凸起；所述支撑梁一端连接在电容感应单元的下部的可变形电极膜，另一端连接压阻感应单元，由此连通两种感应单元；所述的压阻感应单元由四对双层压阻梁组成，当电容负载饱和时，力通过支撑梁传递给压阻感应单元，用于检测较大的负载；所述后空腔由硅衬底蚀刻凹坑形成，用于给压阻感应单元形变的空间。
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