[发明专利]亚像素级边缘效应的修正方法及终端设备有效
申请号: | 201910584992.X | 申请日: | 2019-07-01 |
公开(公告)号: | CN110207842B | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 翟玉卫;刘岩;梁法国;韩伟;邹学锋;李灏;乔玉娥;丁晨 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
主分类号: | G01K11/00 | 分类号: | G01K11/00 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 付晓娣 |
地址: | 050051 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明适用于微电子器件温度检测技术领域,提供了一种亚像素级边缘效应的修正方法及终端设备,该方法包括:通过获取不同材料构成的被测件的多张图像,当不同图像上预设线段上相同位置的像素点读数不同时,控制热反射成像测温装置上的纳米位移台向像素点移动方向的反方向以预设距离移动,直到不同图像上预设线段上相同位置的像素点读数误差值小于或等于预设误差阈值时,确定完成亚像素级边缘效应的修正,从而可以通过图像处理的方式使得X、Y两个方向的亚像素级位置变化引起的边缘效应得到修正,从而使被测件位置变化造成高温误差和低温误差得到了修正,可以提高的热反射测温准确度。 | ||
搜索关键词: | 像素 边缘 效应 修正 方法 终端设备 | ||
【主权项】:
1.一种亚像素级边缘效应的修正方法,其特征在于,包括:获取不同材料构成的被测件的多张图像;所述多张图像为给所述被测件施加固定光强时热反射成像测温装置上的探测器拍摄的所述被测件的图像;当不同图像上预设线段上相同位置的像素点读数不同时,控制热反射成像测温装置上的纳米位移台向像素点移动方向的反方向以预设距离移动,直到不同图像上预设线段上相同位置的像素点读数误差值小于或等于预设误差阈值时,确定完成亚像素级边缘效应的修正,其中,预设距离为小于一个像素点的长度的距离。
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