[发明专利]显示面板的金属图案制作方法有效
| 申请号： | 201910585008.1 | 申请日： | 2019-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN110230059B | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 梅园;吴豪旭 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/02 | 分类号： | C23F1/02;C23F1/18;C23F1/26;C23F1/46 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种显示面板的金属图案制作方法被提供,包括:在一铜/钼金属层的蚀刻过程中,当所述金属层的金属离子在蚀刻液中到达一对应含量时,在所述蚀刻液中额外连续或间歇地添加蚀刻功能剂或蚀刻维持剂,直至所述蚀刻功能剂或蚀刻维持剂占所述蚀刻液和所加入蚀刻功能剂或蚀刻维持剂总量的2‑5wt％时为止。 | ||
| 搜索关键词： | 显示 面板 金属 图案 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种显示面板的金属图案制作方法,其特征在于,包括:在一铜/钼金属层的蚀刻过程中,当所述金属层的金属离子在蚀刻液中到达一对应浓度时,在所述蚀刻液中额外连续或间歇地添加蚀刻功能剂或蚀刻维持剂,直至所述蚀刻功能剂或蚀刻维持剂占所述蚀刻液和所加入蚀刻功能剂或蚀刻维持剂总量的2‑5wt％时为止。
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