[发明专利]一种石墨烯图像分析装置及其分析方法

摘要

本发明公开了一种石墨烯图像分析装置及其分析方法，包括卤素灯光源、起偏器、载物台、显微物镜、半透半反镜、四分之一波片、检偏器、CCD相机、计算机平台、电机驱动装置、旋转电机以及直线电机，所述卤素灯光源的光线射过所述起偏器时经过所述起偏器进行偏振态的调制成为偏振光经过所述半透半反镜后通过显微物镜入射到待测石墨烯样品上，所述偏振光的背向散射光经过所述显微物镜和半透半反镜后再经过四分之一波片和所述检偏器，最终在所述CCD相机上成像，所述载物台在Z轴方向上下移动进行调焦，所述载物台在X轴和Y轴方向移动找到需要检测的石墨烯图像，所述计算机模块通过所述电机驱动装置控制所述旋转电机带动所述起偏器旋转，并在每次旋转到位后控制所述CCD相机同步成像。