[发明专利]一种钼钠合金旋转靶的制备方法

摘要

本发明公开了一种钼钠合金旋转靶的制备方法，包括制备球形钼粉颗粒的步骤，通过将球形钼粉颗粒装入管靶模具中冷等静压制成型以及将压制好的粉质钼管坯预烧结处理获得理想孔隙度范围的钼管坯，再通过熔渗钼酸钠获得需求钠含量的钼钠合金管坯体，将钼钠合金管坯体装入钛板卷制的空心管状模具中完成真空封口焊接，最后通过热等静压制进一步提高钼钠合金旋转靶密度，本发明制得的旋转靶的相对密度＞98.0%，Na含量处于0.5%‑2.5%之间，本发明制成的靶材密度高，成分均匀，可进行后续的机械加工，镀膜效果好并且能够快速实现国产化量产。

主权项

1.一种钼钠合金旋转靶的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤一、选取纯度为99%的Na₂MoO₄粉末进行预处理，得到预处理后的Na₂MoO₄粉末，备用；步骤二、选取钼纯度为99.96%、粒度为1~3μm的钼粉，经雾化造粒处理后再进行预烧结处理，获得具有球形颗粒形态的球形钼粉颗粒，备用；步骤三、将步骤二中制得的球形钼粉颗粒装入管靶模具中，通过冷等静压制，获得粉质钼管坯，备用；步骤四、将压制好的粉质钼管坯预烧结处理，获得具有孔隙度的预烧结钼管坯，备用；步骤五、将预烧结钼管坯进行车床粗加工，使得内外径单边尺寸余量为1~2毫米，长度余量为20~50毫米；步骤六、将粗加工的预烧结钼管坯放入舟型熔渗腔体中，将步骤一得到的预处理后的Na₂MoO₄粉末填充满舟型熔渗腔体的剩余空间后，将舟型熔渗腔体放置于真空炉内进行熔渗处理，脱模，去除表面粘附的钼酸钠晶体，制得熔渗好的钼钠管，备用；步骤七、使用车床将熔渗好的钼钠管进行二次粗加工，加工后使得其内外径保留1毫米余量，长度保留10~30毫米余量；步骤八、将二次粗加工的钼钠管装入钛板卷制的空心管状模具，并在真空焊接腔体内完成封口焊接，得到真空焊接好的钛管模具，备用；步骤九、将真空焊接好的钛管模具放入热等静压机中进行热等静压制；步骤十、将热等静压制后的钛管模具进行脱模得到完成脱模的钼钠管，将其机加工到成品尺寸后，绑定处理获得成品。