[发明专利]晶圆对准方法

摘要

本发明提供一种晶圆对准方法，包括：提供对准设备，对准设备至少包括两个对准单元，每个对准单元包括间隔设置且同步运动的低倍镜头组和高倍镜头组，低倍镜头组和高倍镜头组之间的距离为晶圆上的相邻的两个对准标记之间距离的整数倍；低倍镜头组搜寻至正对第一晶圆上的一对准标记，同时高倍镜头组与第一晶圆上的另一对准标记正对并拍摄其图片；低倍镜头组搜寻至正对第二晶圆上的一对准标记，同时高倍镜头组与第二晶圆上的另一对准标记正对并拍摄其图片；以高倍镜头组拍摄图片为依据，调整第一晶圆和第二晶圆的相对位置实现对准。低倍镜头组视野范围大快速搜寻到对准标记，高倍镜头组拍摄清晰度高，提高晶圆对准效率的同时提升了对准精度。

主权项

1.一种晶圆对准方法，其特征在于，包括：提供对准设备，所述对准设备至少包括两个对准单元，每个所述对准单元包括间隔设置且同步运动的低倍镜头组和高倍镜头组，所述低倍镜头组和高倍镜头组之间的距离为待对准的第一晶圆和第二晶圆上的相邻的两个对准标记之间距离的整数倍；所述低倍镜头组搜寻至正对第一晶圆上的一对准标记，同时所述高倍镜头组与所述第一晶圆上的另一对准标记正对，所述高倍镜头组拍摄所述第一晶圆上的另一对准标记的图片；所述低倍镜头组搜寻至正对第二晶圆上的一对准标记，同时所述高倍镜头组与所述第二晶圆上的另一对准标记正对，所述高倍镜头组拍摄所述第二晶圆上的另一对准标记的图片；以所述高倍镜头组拍摄图片为依据，调整所述第一晶圆和第二晶圆的相对位置，以实现对准。