[发明专利]真空干燥装置在审
| 申请号： | 201910586041.6 | 申请日： | 2019-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN110328975A | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 毕研亮 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B41J11/00 | 分类号： | B41J11/00 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种真空干燥装置，包括壳体，具有容置空间；承载平台，设置于所述容置空间内，用于承载基板，所述基板上具有像素墨水及挥发性溶剂；定位件，设置于所述承载平台上，用于固定所述基板的位置；以及引流板，设置于所述容置空间内，具有多个通孔。本发明利用设置于所述承载平台上的定位件，固定所述基板的位置及角度，使所述基板表面像素墨水的位置能够精准匹配所述引流板通孔的位置，从而使整体的蒸汽浓度趋于一致，提高膜面平整度。 | ||
| 搜索关键词： | 承载平台 容置空间 基板 真空干燥装置 定位件 引流板 通孔 像素 墨水 挥发性溶剂 承载基板 基板表面 平整度 壳体 膜面 蒸汽 匹配 | ||
【主权项】：
1.一种真空干燥装置，包括:壳体，具有容置空间及管路，所述管路连通所述容置空间与所述壳体的外部；承载平台，设置于所述容置空间内，用于承载基板，所述基板上具有像素墨水及挥发性溶剂；定位件，设置于所述承载平台上，用于固定所述基板的位置；以及引流板，设置于所述容置空间内，具有多个通孔，其中所述像素墨水的位置对应所述通孔的位置。
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