[发明专利]一种滤光片的激光切割装置在审
| 申请号： | 201910586463.3 | 申请日： | 2019-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN110605484A | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 程江;李璐;闫兴武 | 申请（专利权）人： | 重庆文理学院 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/402;B23K26/70 |
| 代理公司： | 31251 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 郭桂峰 |
| 地址： | 402160 重庆*** | 国省代码： | 重庆;50 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种滤光片的激光切割方法及装置，所述装置包括：超快激光器、光束整形模组、聚焦物镜、视觉检测装置、以及运动平台；视觉检测装置位于聚焦物镜上部，运动平台位于聚焦物镜下部用于承载待滤光片，聚焦物镜为视觉检测装置的成像物镜；超快激光器发出超短脉冲激光束入射光束整形模组，经过光束整形模组整形成能量均匀分布的线状无衍射光束后入射聚焦物镜，经过聚焦物镜聚焦形成切割滤光片的高能量密度无衍射光束。本发明切割后获得的各个元件截面及上下表面均成型规整、直线度好、表面膜层无明显破坏，且切割过程中形成的改质层厚度与位置可根据基板厚度或实际要求进行选择以满足不同规格的加工需求。 | ||
| 搜索关键词： | 聚焦物镜 视觉检测装置 滤光片 超快激光器 光束整形 衍射光束 运动平台 模组 切割 超短脉冲激光束 表面膜层 成像物镜 激光切割 切割过程 入射光束 上下表面 元件截面 规整 改质层 高能量 整形模 直线度 基板 入射 线状 成型 承载 聚焦 加工 | ||
【主权项】：
1.一种滤光片的激光切割装置，其特征在于，包括：超快激光器、光束整形模组、聚焦物镜、视觉检测装置、以及运动平台；/n视觉检测装置位于聚焦物镜上部，运动平台位于聚焦物镜下部用于承载待滤光片，聚焦物镜为视觉检测装置的成像物镜；/n超快激光器发出超短脉冲激光束入射光束整形模组，经过光束整形模组整形成能量均匀分布的线状无衍射光束后入射聚焦物镜，经过聚焦物镜聚焦形成切割滤光片的高能量密度无衍射光束。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于重庆文理学院，未经重庆文理学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910586463.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
