[发明专利]一种太赫兹线宽测量装置及方法在审
| 申请号： | 201910588701.4 | 申请日： | 2019-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN110196107A | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 孔维鹏;秦瑀;周逊;李赜宇;严强;邹明芮;李光彬 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01J11/00 | 分类号： | G01J11/00;G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 刘凤玲 |
| 地址： | 621900 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开一种太赫兹线宽测量装置及方法。所述装置包括步进电机、处理器和依次设置的准直镜、F‑P前腔镜、F‑P后腔镜、聚焦透镜及太赫兹探测器；步进电机与F‑P后腔镜连接，控制F‑P后腔镜移动，调节F‑P后腔镜与F‑P前腔镜之间的距离；太赫兹探测器检测待测太赫兹波的透射功率；处理器控制步进电机移动，记录步进电机的移动距离以及与移动距离对应的透射功率，处理计算，得到待测太赫兹波光束线宽。利用步进电机控制F‑P后腔镜移动，并利用太赫兹探测器检测待测太赫兹波光束的透射功率，通过移动距离和透射功率拟合计算得到待测太赫兹波光束线宽，测量过程中，无需高反射率F‑P腔镜，降低测量难度和成本。 | ||
| 搜索关键词： | 步进电机 后腔镜 太赫兹波 透射功率 太赫兹探测器 线宽测量装置 光束线 前腔镜 移动 处理器控制 测量过程 高反射率 聚焦透镜 依次设置 准直镜 检测 处理器 腔镜 测量 记录 | ||
【主权项】：
1.一种太赫兹线宽测量装置，其特征在于，所述装置包括步进电机、处理器和依次设置的准直镜、F‑P前腔镜、F‑P后腔镜、聚焦透镜及太赫兹探测器；所述准直镜、所述F‑P前腔镜、所述F‑P后腔镜、所述聚焦透镜和所述太赫兹探测器的光轴均与待测太赫兹波光束同轴；所述准直镜用于对所述待测太赫兹波光束进行准直，得到平行待测太赫兹波光束；所述F‑P前腔镜和所述F‑P后腔镜用于使所述平行待测太赫兹波光束产生干涉；所述步进电机与所述F‑P后腔镜连接，用于控制所述F‑P后腔镜移动，调节所述F‑P后腔镜与所述F‑P前腔镜之间的距离；所述聚焦透镜用于对经过干涉的待测太赫兹波光束进行汇聚；所述太赫兹探测器用于检测汇聚后的待测太赫兹波光束的透射功率；所述处理器分别与所述步进电机和所述太赫兹探测器连接，用于控制所述步进电机移动，记录所述步进电机的移动距离以及与所述移动距离对应的所述透射功率，并对所述移动距离和所述透射功率进行处理计算，得到待测太赫兹波光束线宽。
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