[发明专利]一种光电探测器有效

专利信息
申请号: 201910590027.3 申请日: 2019-07-02
公开(公告)号: CN110289334B 公开(公告)日: 2021-06-04
发明(设计)人: 王志明;杜文;巫江;余鹏;李彩虹;刘和桩;邹吉华;徐浩;马翠苹 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: H01L31/108 分类号: H01L31/108;H01L31/032;H01L31/0216;H01L31/18
代理公司: 成都市集智汇华知识产权代理事务所(普通合伙) 51237 代理人: 李华;温黎娟
地址: 610054 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明实施例提供了一种光电探测器,包括吸收器,所述吸收器由下到上依次包括衬底层、反射层和吸收层,其中,所述吸收层为过渡金属硫化物薄膜;所述吸收层上设置电极层;这样,通过在所述衬底层上依次设置所述反射层、所述吸收层和所述电极层,并利用将所述吸收器的吸收层材料为过渡金属硫化物,使吸收器可以工作在可见波段,且通过过渡金属硫化物的复折射率的实部和虚部较为接近,可以形成高损耗薄膜,使得入射光被吸收后在薄膜内传播,并逐渐损耗。因此使得所述反射层上吸收层的超薄膜结构可以通过与谐振腔的临界耦合达到近完美吸收。
搜索关键词: 一种 光电 探测器
【主权项】:
1.一种光电探测器,其特征在于,包括吸收器,所述吸收器由下到上依次包括衬底层(11)、反射层(12)和吸收层(13),其中,所述吸收层(13)为过渡金属硫化物薄膜;所述吸收层(13)上设置电极层。
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