[发明专利]一种金刚石涂层工具有效
申请号: | 201910590731.9 | 申请日: | 2019-07-02 |
公开(公告)号: | CN110241399B | 公开(公告)日: | 2023-10-20 |
发明(设计)人: | 王鸿翔 | 申请(专利权)人: | 江苏电子信息职业学院 |
主分类号: | C23C16/27 | 分类号: | C23C16/27;C23C16/458 |
代理公司: | 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 | 代理人: | 王峰刚 |
地址: | 223003 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种金刚石涂层工具,涉及化工领域,包括底座,所述底座的上表面连接有箱体,箱体转动连接有匹配设置的密封盖,且箱体的底部连通的排气管,所述箱体内连接有用于固定基体的夹持机构,且底座上安装有用于驱动夹持机构转动的驱动机构;本发明通过驱动机构带动被夹持机构夹持固定的基体慢速均匀转动,使得基体与气源的接触更加均匀,使得基体上涂层生长的厚度更加均匀,提高金刚石涂层的质量,且有效的降低由于基体表面不平造成的金刚石涂层生长不均匀的问题,提高装置的适用范围;本发明中的进气机构带有稳流的功能,从而可以缓冲气源流速的波动,使得气源以稳定的速度进入箱体内,进一步有利于基体上涂层的均匀生长。 | ||
搜索关键词: | 一种 金刚石 涂层 工具 | ||
【主权项】:
1.一种金刚石涂层工具,包括底座(11),所述底座(11)的上表面来连接有箱体(5),箱体(5)转动连接有匹配设置的密封盖(7),且箱体(5)的底部连通的排气管(8),其特征在于,所述箱体(5)内连接有用于固定基体的夹持机构,且底座(11)上安装有用于驱动夹持机构转动的驱动机构,通过驱动机构使得基体进行匀速转动,从而使得基体与气源的接触更加均匀,进而使得基体上涂层生长的厚度更加均匀;所述箱体(5)的上表面安装有带有稳流功能的进气机构(6),使得气源更加稳定的进入到箱体(5)内,进一步有利于基体上涂层的均匀生长。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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