[发明专利]一种微观元件外观缺陷的检测装置及检测方法在审
| 申请号： | 201910592894.0 | 申请日： | 2019-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN110542687A | 公开（公告）日： | 2019-12-06 |
| 发明（设计）人： | 姜宏振;李艺;刘旭;刘勇;贺思敏;于德强;于劭洁;郑芳兰;柴立群 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 51230 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 | 代理人： | 汤春微<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种微观元件外观缺陷的检测装置，包括：二自由度微动平台，用于装载、调整待测微观元件；图像采集装置，其用于拍摄待测微观元件并获得待测微观元件的表面图像；图像数据处理与运动控制单元，用于获取、分析表面图像以及确定待测微观元件表面是否具有外观缺陷，和用于控制二自由度微动台和图像采集装置；图像采集装置包括：架体，设于架体上的工业相机、照明单元，以及转动连接于架体上、具有一与工业相机对应的拍摄工位、设有高倍率大数值孔径镜头、以及设有低倍率宽视场镜头的镜头转换器。本发明还公开了一种微观元件外观缺陷检测方法。本发明解决了现有技术中使用高倍镜检测微观元件外观缺陷时难以快速定位微观元件中心的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 微观元件 图像采集装置 外观缺陷 架体 表面图像 二自由度 工业相机 图像数据处理 外观缺陷检测 运动控制单元 大数值孔径 镜头转换器 宽视场镜头 检测装置 快速定位 微动平台 照明单元 转动连接 拍摄 低倍率 高倍镜 高倍率 微动台 工位 装载 镜头 检测 分析 | ||
【主权项】：
1.一种微观元件外观缺陷的检测装置，包括：/n二自由度微动平台(1)，用于装载、调整待测微观元件；/n位于所述二自由度微动平台(1)上方的图像采集装置，其用于拍摄待测微观元件并获得待测微观元件的表面图像；/n图像数据处理与运动控制单元(2)，用于获取、分析所述表面图像以及确定所述待测微观元件表面是否具有外观缺陷，和用于控制所述二自由度微动台(1)和所述图像采集装置：/n其中，所述二自由度微动平台(1)、图像采集装置均与所述图像数据处理与运动控制单元电连接；/n其特征在于，所述图像采集装置包括：/n架体(3)；/n照明单元，所述照明单元固定在所述架体(3)上，用于对二自由度微动平台(1)上的待测微观元件进行照明；/n设于所述架体(3)上、朝向二自由度平面微动平台(1)布置的工业相机(4)；以及/n转动连接于所述架体(1)上、具有一与工业相机(4)对应的拍摄工位、设有高倍率大数值孔径镜头、以及设有低倍率宽视场镜头的镜头转换器(5)，所述镜头转换器(5)用于将高倍率大数值孔径镜头或低倍率宽视场镜头装载到拍摄工位与工业相机(4)连接。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国工程物理研究院激光聚变研究中心，未经中国工程物理研究院激光聚变研究中心许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910592894.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
