[发明专利]基于强度编码调制的相干组束图像测量装置及其测量方法有效
| 申请号： | 201910592982.0 | 申请日： | 2019-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN110441033B | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 刘人奇;梁晓燕;彭纯;李儒新 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于强度编码调制的相干组束图像测量装置及其测量方法，通过计算机模拟的经过强度编码调制的干涉条纹图样结合深度学习卷积神经网络训练出目标网络，然后将相干组束系统实时采集到的远场干涉条纹图样输入目标网络解析出光束的角度误差和相位误差。本发明提出的这种新的针对相干组束系统的测量解析方法，适用于超强超短激光系统及一般的双光束干涉系统，其优点在于可以对一幅远场干涉图样同时精确地解析出各光束之间的角度误差和相位误差。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 强度 编码 调制 相干 图像 测量 装置 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于强度编码调制的相干组束图像测量装置，其特征在于，包括第一分束镜(2)、全反镜(3)、第一路反馈调节模块(6)、第二路反馈调节模块(7)、第二分束镜(8)、掩膜版(10)、监测透镜(11)、监测CCD(12)和计算机(13)；入射光束(1)经所述的第一分束镜(2)分为第一透射光束(4)和第一反射光束(5)，第一透射光束(4)依次经所述的第一路反馈调节模块(6)和第二分束镜(8)后分为第二透射光束和第二反射光束，第一反射光束(5)依次经所述的全反镜(3)和第二路反馈调节模块(7)后分为第三透射光束和第三反射光束，所述的第二透射光束和第三透射光束依次经所述的掩膜版(10)和监测透镜(11)，由监测CCD(12)接收，该监测CCD(12)位于所述的监测透镜(11)的后焦点处，该监测CCD(12)输出端与计算机(13)相连，所述的反馈调节模块(6)和第二路反馈调节模块(7)分别与计算机(13)相连。
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