[发明专利]掩模及其制造方法有效
| 申请号： | 201910593177.X | 申请日： | 2019-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN110670015B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 广户荣仁 | 申请（专利权）人： | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 王博;褚瑶杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及掩模及其制造方法，掩模具备：包含开口部的第1掩模、位于第1掩模的开口部的第2掩模、和将第1掩模与第2掩模接合的接合部。第1掩模具有：第1面、位于第1面的相反侧的第2面、以及从第1面扩展至第2面并划出开口部的侧面。第2掩模包含位于第1掩模的第1面侧的第3面和位于第1掩模的第2面侧的第4面。另外，第2掩模具有：包含贯通第2掩模的第1孔的有效区域、和位于有效区域的周边的周边区域。接合部具有：至少包含与第1掩模的侧面接触的侧面部分和与第1掩模的第1面接触的第1面部分的第1部分、以及至少包含与第2掩模的周边区域的第4面接触的第4面部分的第2部分。 | ||
| 搜索关键词： | 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种掩模，其具备：/n第1掩模，其包含开口部，具有第1面、位于所述第1面的相反侧的第2面、以及从所述第1面扩展至所述第2面并划出所述开口部的侧面；/n第2掩模，其位于所述第1掩模的所述开口部，包含位于所述第1掩模的所述第1面侧的第3面和位于所述第1掩模的所述第2面侧的第4面，具有有效区域和位于所述有效区域的周边的周边区域，所述有效区域包含贯通所述第2掩模的第1孔；和/n接合部，其将所述第1掩模与所述第2掩模接合，具有第1部分和第2部分，所述第1部分至少包含与所述第1掩模的所述侧面接触的侧面部分和与所述第1掩模的所述第1面接触的第1面部分，所述第2部分至少包含与所述第2掩模的所述周边区域的所述第4面接触的第4面部分。/n
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