[发明专利]一种基于超声操控和微流控的晶片转移系统及转移方法

摘要

本发明公开了一种基于超声操控和微流控的晶片转移系统，排列换能器阵列包括沿第一方向一一对应的排列超声换能器。相对的排列超声换能器之间可以形成仅包括一个波节的一维排列驻波声场，以及偏置行波场；一维排列驻波声场可以将晶片固定在波节附近，而偏置行波场可以清除不位于波节中心的晶片；转移换能器阵列包括沿第二方向一一对应的转移超声换能器。转移超声换能器可以在固定基板表面形成二维驻波声场将晶片固定在波节附近，而二维驻波声场包括的声场回复力可以沿第一方向移动晶片，实现晶片的大批量移动。本发明还提供了一种基于超声操控和微流控的晶片转移方法，同样具有上述有益效果。

主权项

1.一种基于超声操控和微流控的晶片转移系统，其特征在于，包括排列基板、排列换能器阵列、固定基板、转移换能器阵列、微流体发生装置和控制中心；所述排列换能器阵列设置于所述排列基板表面沿第一方向相对的两个侧边，所述排列换能器阵列包括沿所述第一方向一一对应的排列超声换能器；所述微流体发生装置用于将晶片从所述排列基板表面转移至所述固定基板表面；所述转移换能器阵列设置于所述固定基板表面沿第二方向相对的两个侧边，所述第一方向与所述第二方向相互垂直，所述转移换能器阵列包括沿所述第二方向一一对应的转移超声换能器；所述控制中心用于控制所述排列超声换能器，在相对应的两个所述排列超声换能器之间形成仅包括一个波节的一维排列驻波声场，以及偏置行波场；所述控制中心还用于控制所述转移超声换能器在所述固定基板表面形成二维驻波声场，所述二维驻波声场包括沿所述第一方向的声场回复力。