[发明专利]一种无磷聚合物缓蚀剂组合物、一种无磷缓蚀剂及其应用有效
申请号: | 201910595373.0 | 申请日: | 2019-07-03 |
公开(公告)号: | CN112176350B | 公开(公告)日: | 2022-05-03 |
发明(设计)人: | 禚青倩;孙飞;王金华;余正齐;高嵩 | 申请(专利权)人: | 中国石油化工股份有限公司;中国石油化工股份有限公司石油化工科学研究院 |
主分类号: | C23F11/173 | 分类号: | C23F11/173 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人: | 刘国平;顾映芬 |
地址: | 100728 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: |
本发明涉及缓蚀剂领域,公开了一种无磷聚合物缓蚀剂组合物、一种无磷缓蚀剂及其应用,该组合物中含有重量比为1︰(0.25‑8.00)︰(0.10‑3.00)︰(0.10‑2.50)的组分A、组分B、组分C和组分D,所述组分A选自式(1)所示结构的化合物中的至少一种,所述组分B选自无磷缓蚀聚合物中的至少一种,所述组分C选自有机酸、有机酸盐中的至少一种,所述组分D选自水溶性锌盐中的至少一种。本发明的缓蚀剂组合物具有良好的缓蚀作用,而且,在不影响处理效果的前提下,在较低的缓蚀剂浓度下即可以达到较好的缓蚀效果,大大地节约了成本。 |
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搜索关键词: | 一种 聚合物 缓蚀剂 组合 无磷缓蚀剂 及其 应用 | ||
【主权项】:
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