[发明专利]一种燃气加热金属氮化物合成设备在审
| 申请号： | 201910597671.3 | 申请日： | 2019-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN110319691A | 公开（公告）日： | 2019-10-11 |
| 发明（设计）人： | 杜文贵;秦军 | 申请（专利权）人： | 宁夏秦氏新材料有限公司 |
| 主分类号： | F27B14/04 | 分类号： | F27B14/04;F27B14/08;F27B14/10;F27B14/14;F27B14/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 马莉 |
| 地址： | 753000 宁夏回族自治*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 一种燃气加热式金属氮化物合成设备，其中包括：坩埚，其内部配置为进行金属氮化物合成；炉壳，包裹所述坩埚，坩埚与炉壳之间存在一间隔空间，所述炉壳的内壁上设置有保温层和耐火层，保温层位于炉壳内壁和耐火层之间；坩埚上盖，该用螺栓与坩埚联结，所述坩埚上盖上设置有抽真空孔和氮气供气孔；燃气烧嘴，设置于所述间隔空间内，配置为通入燃气燃烧，以加热所述坩埚。本发明的燃气加热式金属氮化物合成设备通过设置坩埚、特定功能的坩埚上盖以及燃气烧嘴，能够提高整体工艺效率。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 金属氮化物 合成设备 炉壳 上盖 燃气加热式 间隔空间 保温层 耐火层 烧嘴 燃气 氮气 螺栓 抽真空孔 炉壳内壁 燃气加热 燃气燃烧 整体工艺 供气孔 内壁 配置 加热 联结 合成 | ||
【主权项】：
1.一种燃气加热式金属氮化物合成设备，其中包括：坩埚，配置作为进行金属氮化物合成的反应室；炉壳，所述合成炉的外壳，坩埚与炉壳之间存在一间隔空间，上部开设与合成坩埚外径相匹配的开孔，炉壳内表面设置由外向内的保温层和耐火层；燃气烧嘴，在炉体的上部和下部安装固定燃气烧嘴，设置于所述间隔空间内，配置为通入燃气燃烧，为反应室提供热源；
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