[发明专利]一种集成电路及其撕膜方法和撕膜排板设备在审
| 申请号： | 201910598664.5 | 申请日： | 2019-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN110422416A | 公开（公告）日： | 2019-11-08 |
| 发明（设计）人： | 曲容容;魏星;魏芙蓉;杨立慈 | 申请（专利权）人： | 宁波市鄞州特尔斐电子有限公司 |
| 主分类号： | B65B69/00 | 分类号： | B65B69/00;B65G47/91;H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315153 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及集成电路制造技术领域。一种集成电路撕膜排版设备，包括机架以及安装在机架上的载板上料装置、载板输送线装置、撕膜装置、搬运机械手和视觉检测装置、托盘上料装置和托盘输送线装置；所述的载板上料装置、载板输送线装置和撕膜装置设置有对称的两组，撕膜装置位于载板上料装置的下方，载板输送线装置与载板上料装置相衔接；托盘上料装置位于两个载板上料装置之间，托盘输送线装置位于两条载板输送线装置之间，托盘输送线装置与托盘上料装置相衔接；搬运机械手和视觉检测装置安装在机架上，位于载板输送线装置和托盘输送线装置的上方。本发明撕胶动作高效精准，自动化上下料，加工效率高，集成电路收集摆放。 | ||
| 搜索关键词： | 载板 上料装置 输送线装置 托盘输送线 撕膜装置 托盘 撕膜 集成电路 视觉检测装置 搬运机械手 集成电路制造技术 加工效率 排板设备 排版设备 衔接 上下料 两组 对称 自动化 摆放 | ||
【主权项】：
1.一种集成电路撕膜排板设备，其特征在于，包括机架以及安装在机架上的载板上料装置（1）、载板输送线装置（2）、撕膜装置（3）、搬运机械手和视觉检测装置（4）、托盘上料装置（5）和托盘输送线装置（6）；所述的载板上料装置（1）、载板输送线装置（2）和撕膜装置（3）设置有对称的两组，撕膜装置（3）位于载板上料装置（1）的下方，载板输送线装置（2）与载板上料装置（1）相衔接；托盘上料装置（5）位于两个载板上料装置（1）之间，托盘输送线装置（6）位于两条载板输送线装置（2）之间，托盘输送线装置（6）与托盘上料装置（5）相衔接；搬运机械手和视觉检测装置（4）安装在机架上，位于载板输送线装置（2）和托盘输送线装置（6）的上方；所述的载板上料装置（1）用于将叠放的集成电路载板逐个进行上料至载板输送线装置（2），撕膜装置（3）用于对集成电路载板的下端面胶膜进行剥离，搬运机械手和视觉检测装置（4）用于集成电路的搬运，并在搬运的过程中进行视觉检测；托盘输送线装置（6）用于托盘的上料，该托盘用于放置集成电路，托盘输送线装置（6）用于收集装满集成电路的托盘。
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