[发明专利]一种应用表面粗糙型陶瓷盘的晶圆下蜡方法

摘要

本发明提供两种应用表面粗糙型陶瓷盘的晶圆下蜡方法，两种方法都是先将晶圆在表面粗糙度为0.3的陶瓷盘里上蜡，上蜡完成后对陶瓷盘边缘清洁，之后，第一种方法是对陶瓷盘加热10分钟，随后直接推动晶圆下蜡，第二种方法是对陶瓷盘加热10分钟至能轻微推动晶圆，随后放置与水浴加热的去蜡液中浸泡后下蜡，本发明的两种下蜡方法适用于不大规格大小的晶圆下蜡，同样采用了表面粗糙度为0.3的陶瓷盘最为晶圆载具，相对于常用的镜面陶瓷盘，加热后融化的蜡液更容易渗透到晶圆与陶瓷盘之间的空间，能有效润滑并减小晶圆推动阻力，下蜡更加便捷并不会产生晶圆表面划伤及碎裂、有裂纹的情况，具有良好的推广前景。

主权项

1.一种应用表面粗糙型陶瓷盘的晶圆下蜡方法，其特征在于：所述下蜡方法包括以下步骤：1)提供一陶瓷盘，所述陶瓷盘用于晶圆上蜡工艺，所述陶瓷盘表面粗糙度为0.3；2)晶圆上蜡研磨完成后，对所述陶瓷盘边缘进行清洁；3)对所述陶瓷盘进行加热，使蜡融化，在蜡融化的同时往晶圆边缘四周涂蜡；4)对所述陶瓷盘进行加热10分钟并对所述陶瓷盘的晶圆推动下蜡区进行涂蜡；5)提供一推动件，使用所述推动件将晶圆从下蜡区轻轻推动下蜡。