[发明专利]一种蒸镀设备及蒸镀方法有效
| 申请号： | 201910599323.X | 申请日： | 2019-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN110144551B | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 饶勇;岳小非 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 李弘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸镀设备及蒸镀方法。所述蒸镀设备包括：传送机构、第一蒸镀腔室和第二蒸镀腔室；其中，所述传送机构，被配置为将待蒸镀基板在所述第一蒸镀腔室和所述第二蒸镀腔室间传送；所述第一蒸镀腔室，被配置为在待蒸镀基板上形成第一蒸镀膜层；以及所述第二蒸镀腔室，被配置为在所述第一蒸镀膜层上形成第二蒸镀膜层。所述蒸镀设备及蒸镀方法能够降低蒸镀腔室温度，降低白点不良的概率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括：传送机构、第一蒸镀腔室和第二蒸镀腔室；其中，所述传送机构，被配置为将待蒸镀基板在所述第一蒸镀腔室和所述第二蒸镀腔室间传送；所述第一蒸镀腔室，被配置为在待蒸镀基板上形成第一蒸镀膜层；以及所述第二蒸镀腔室，被配置为在所述第一蒸镀膜层上形成第二蒸镀膜层。
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