[发明专利]压电陶瓷d15参数测量装置及方法在审
申请号: | 201910602684.5 | 申请日: | 2019-07-05 |
公开(公告)号: | CN110207598A | 公开(公告)日: | 2019-09-06 |
发明(设计)人: | 杨晓峰;郝凌凌;王振华;康华洲;陈庆生 | 申请(专利权)人: | 复旦大学 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 上海上谷知识产权代理有限公司 31342 | 代理人: | 蔡继清;姜龙 |
地址: | 200433 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种压电陶瓷d15参数测量装置及方法。该装置包括安装架、位移台、光栅尺、读数头以及压电陶瓷叠堆安装基座。安装基座固定安装于安装架上,位移台可活动地安装于安装架上,光栅尺固定安装于位移台上,读数头固定安装于光栅尺的下方,待测量的压电陶瓷叠堆安装于安装基座与位移台之间,向压电陶瓷叠堆施加电压,压电陶瓷叠堆发生位移变化,使得位移台带动光栅尺发生同步运动,光栅尺的位移就是压电陶瓷叠堆在施加给定电压时的位移值,将该位移值同施加的给定电压相除求得压电陶瓷叠堆的d15参数。本发明的可以直接测量压电陶瓷的横向压电常数d15,同时可以达到纳米级的测量精度。 | ||
搜索关键词: | 压电陶瓷叠堆 光栅尺 位移台 安装基座 压电陶瓷 安装架 参数测量装置 给定电压 读数头 测量 施加 施加电压 同步运动 位移变化 压电常数 直接测量 可活动 纳米级 相除 | ||
【主权项】:
1.一种压电陶瓷d15参数测量装置,其特征在于,所述测量装置包括安装架、位移台、光栅尺、读数头以及压电陶瓷叠堆安装基座,所述压电陶瓷叠堆安装基座固定安装于所述安装架上,所述位移台可活动地安装于所述安装架上,所述光栅尺固定安装于所述位移台上,所述读数头固定安装于所述光栅尺的下方,待测量的压电陶瓷叠堆安装于所述压电陶瓷叠堆安装基座与所述位移台之间,检测时向所述压电陶瓷叠堆施加电压,随着电压的增加压电陶瓷叠堆发生位移变化,使得所述位移台带动所述光栅尺发生同步运动,所述光栅尺的位移就是压电陶瓷叠堆在施加给定电压时的位移值,将该位移值同施加的给定电压相除求得压电陶瓷叠堆的d15参数。
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