[发明专利]压电陶瓷元件的制备方法有效
申请号: | 201910603204.7 | 申请日: | 2019-07-05 |
公开(公告)号: | CN110379916B | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 刘立民;潘庶亨 | 申请(专利权)人: | 中国科学院物理研究所 |
主分类号: | H01L41/277 | 分类号: | H01L41/277;H01L41/335;H01L41/337 |
代理公司: | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人: | 郭广迅 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种制备压电陶瓷元件的方法,包括如下步骤:(1)对长方体形的压电陶瓷片的两条对角棱进行圆角处理;(2)对经过步骤(1)处理后的压电陶瓷片的表面进行金属化;(3)对步骤(2)得到的压电陶瓷片的、与经过圆角处理的两条对角棱平行的另外两条对角棱进行倒角处理;(4)整合步骤(3)得到的压电陶瓷片,形成带有圆角槽和倒角槽的压电陶瓷堆;(5)对所述圆角槽进行导电保护并且对所述倒角槽进行绝缘保护;(6)对经过步骤(5)处理后的压电陶瓷堆的表面进行金属化,以形成导电层;(7)去掉经过步骤(6)处理后的压电陶瓷堆的上表面和下表面处具有倒角的位置处的导电层。本发明的方法不需要过多焊接,增加了压电陶瓷元件的安全性。 | ||
搜索关键词: | 压电 陶瓷 元件 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种制备压电陶瓷元件的方法,包括如下步骤:(1)对长方体形的压电陶瓷片的两条对角棱进行圆角处理;(2)对经过步骤(1)处理后的压电陶瓷片的表面进行金属化,以形成导电层;(3)对步骤(2)得到的压电陶瓷片的、与经过圆角处理的两条对角棱平行的另外两条对角棱进行倒角处理;(4)整合步骤(3)得到的压电陶瓷片,形成带有圆角槽和倒角槽的压电陶瓷堆;所述整合是在相邻压电陶瓷片的极化方向相反、相邻压电陶瓷片的圆角与圆角相接且相邻压电陶瓷片的倒角与倒角相接的条件下进行的;(5)对所述圆角槽进行导电保护并且对所述倒角槽进行绝缘保护;(6)对经过步骤(5)处理后的压电陶瓷堆的表面进行金属化,以形成导电层;(7)去掉经过步骤(6)处理后的压电陶瓷堆的上表面和下表面处具有倒角的位置处的导电层。
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