[发明专利]一种可拼接红外微桥结构电阻矩阵

摘要

本发明属于红外动态场景仿真领域，具体提供一种红外微桥结构电阻矩阵及其制备方法，本发明在mini‑LED工艺及倒装mini‑LED工艺的基础上，使用微桥结构电阻、IC驱动和载体制备微桥结构电阻矩阵，实现了大规模微桥结构电阻阵列，其规模不少于640×640，且制备工艺简单、制备成本低；有效解决了现有红外景象生成器不能制成大面积、占空比低和造价昂贵等问题。

主权项

1.一种可拼接红外微桥结构电阻矩阵，包括：载体(1‑1)、IC驱动(1‑4)及若干个微桥电阻矩阵单元；所述IC驱动(1‑4)设置在载体(1‑1)下表面；其特征在于，所述若干个微桥电阻矩阵单元呈矩阵排布于载体(1‑1)上表面，每个微桥电阻矩阵单元通过金属引出线(1‑2)悬空固定于载体(1‑1)上表面；所述微桥电阻矩阵单元由从下往上依次层叠的介电薄膜(1‑5)、电阻薄膜(1‑3)与金属电极(1‑6)构成，所述金属电极(1‑6)通过金属引出线(1‑2)与载体(1‑1)保持电气导通。