[发明专利]一种用于液压阀杆表面防护的复合涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种用于液压阀杆表面防护的复合涂层及其制备方法，所述复合涂层由基体表面自下而上依次层叠排列的金属铬过渡层、同质CrN多层复合功能层以及SiOxCyHz聚合物顶层构成，总厚度控制在3.5μm～10.0μm。本发明还提供了该复合涂层的制备方法：采用磁控溅射或电弧离子镀在液压阀杆表面沉积金属铬过渡层、同质CrN多层复合结构，采用等离子体化学气相沉积SiOxCyHz聚合物顶层。本发明简化了液压阀杆表面防护层工艺流程和作业环节，提高了工作效率，可以完全替代液压阀杆电镀铬的防护层，彻底消除了电镀中的环境污染问题。

主权项

1.一种用于液压阀杆表面防护的复合涂层，所述的复合涂层由基体表面自下而上依次层叠排列的过渡层、复合功能层以及顶层构成，所述的基体为液压阀杆；其特征在于，所述的过渡层的厚度为0.3μm～1.0μm，其由基底表面依次沉积的低硬度金属铬层与高硬度金属铬层组成；所述的复合功能层的厚度为2.5μm～10.0μm，其为同质CrN多层复合结构；所述的顶层的厚度为0.05μm～0.2μm，其为SiO_xC_yH_z聚合物层，其中x值为0.3～0.5、y值为0.3～0.4、z值为0.2～0.3；所述的复合涂层总厚度控制在3.5μm～10.0μm。