[发明专利]小型静态退火炉在审
| 申请号： | 201910604276.3 | 申请日： | 2019-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN110257918A | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 李文;李涛;郭健;周凡 | 申请（专利权）人： | 无锡奥特维科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京路胜元知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11669 | 代理人： | 路兆强;梁世强 |
| 地址： | 214000*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请揭示了一种小型静态退火炉，属于电池片加工领域，包括炉体框架、炉体冷却装置、托盘、测温装置、电源装置、光照装置、加热装置；托盘在炉体框架的内部和外部之间移动，用于承载硅片，将硅片送入退火炉内部；测温装置设置在炉体框架内部，实时监测炉体内的温度；炉体冷却装置设置在炉体框架内部，用于对炉体进行降温；电源装置为光照装置提供恒定电流的电源；光照装置设置在位于炉体内的托盘的上方，用于以预定波长的光照射托盘上的硅片；加热装置设置在炉体内，用于对托盘上的硅片加热。本申请将加热与光照退火集成为一体，省去了自动化生产中的运输装置，易于操作，并且能够节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 托盘 炉体框架 硅片 光照装置 退火炉 炉体冷却装置 测温装置 电源装置 加热装置 体内 加热 退火 自动化生产 恒定电流 实时监测 预定波长 运输装置 电池片 光照射 炉体 申请 光照 电源 送入 承载 节约 外部 移动 加工 | ||
【主权项】：
1.一种小型静态退火炉，其特征在于，包括炉体框架、炉体冷却装置、托盘、测温装置、电源装置、光照装置、加热装置；所述托盘在所述炉体框架的内部和外部之间移动，用于承载硅片，将硅片送入退火炉内部；所述测温装置设置在所述炉体框架内部，用于实时监测炉体内的温度；所述炉体冷却装置设置在所述炉体框架内部，用于对炉体进行降温；所述电源装置为所述光照装置提供恒定电流的电源；所述光照装置设置在位于炉体内的所述托盘的上方，用于以预定波长的光照射所述托盘上的硅片；所述加热装置设置在炉体内，用于对所述托盘上的硅片加热。
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