[发明专利]一种扩散式光声微腔气体传感器在审
| 申请号： | 201910604705.7 | 申请日： | 2019-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN110333190A | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 陈珂;陈烨伟;刘帅;邓红 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17;G01N21/39 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 温福雪;侯明远 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种扩散式光声微腔气体传感器。该传感器包括光源、光声微腔、小孔、麦克风、电路板和显示屏。气体经小孔扩散到光声微腔中，气孔的对光声响应的影响相当于一个“高通滤波器”，气孔越大，“高通滤波器”的截止频率越高，在保证气孔不降低光声响应的前提下尽量增加气孔大小提高传感器的响应速度。光声信号的幅度与气体浓度成正比，采用麦克风测量光声信号的大小后可反演出待测气体的浓度。本发明的气体传感器具有结构简单、灵敏度高、体积小、成本低、响应速度快和功耗低等诸多优点，为高灵敏度气体泄漏监测提供了一种极具竞争力的技术方案。 | ||
| 搜索关键词： | 光声 微腔 气体传感器 响应 高通滤波器 麦克风 扩散式 传感器 小孔 气体泄漏监测 电路板 待测气体 高灵敏度 光声信号 截止频率 测量光 成正比 灵敏度 体积小 功耗 显示屏 光源 扩散 保证 | ||
【主权项】：
1.一种扩散式光声微腔气体传感器，其特征在于，所述的扩散式光声微腔气体传感器包括光源(1)、光声微腔(2)、小孔(3)、麦克风(4)、电路板(6)和显示屏(6)；在光声微腔(2)侧壁上开有小孔(3)，待测气体经过小孔(3)扩散进入到光声微腔(2)中；电路板(6)驱动光源(1)，发射的光声激励光入射到光声微腔(2)中；麦克风(4)探测光声微腔(2)中产生的光声压力波，电路板(6)测量光声信号的幅度后计算出待测气体的浓度；显示屏(6)与电路板(6)相连，用于显示气体浓度值。
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