[发明专利]一种基于掩埋型石墨烯电极的有机聚合物光波导吸收型光调制器在审
| 申请号： | 201910606123.2 | 申请日： | 2019-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN110147000A | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 王希斌;廉天航;张大明;姜明慧;王力磊;牛东海 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G02F1/03 | 分类号： | G02F1/03;G02F1/035 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 刘世纯;王恩远 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种基于掩埋型石墨烯电极的有机聚合物光波导吸收型光调制器，属于基于石墨烯的平面光波导吸收型光调制器技术领域。由衬底层、有机聚合物波导下包层、第一有机聚合物波导芯层、第一石墨烯层、电介质绝缘层、第二石墨烯层、第二有机聚合物波导芯层、有机聚合物波导上包层、左电极和右电极组成。本发明采用有机聚合物材料进行波导结构的设计，并将石墨烯层转移到波导芯层的中间，使石墨烯能够与光的相互作用增强，以实现更快速的载流子迁移速率，提高光调制器的工作速率，可以在使用无电光效应的有机聚合物材料时，通过偏执电压对石墨烯化学势的调控，也能实现电光调制器的功能，从而达到降低器件成本的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨烯 有机聚合物波导 光调制器 石墨烯层 吸收型 有机聚合物光波导 有机聚合物材料 电极 掩埋型 芯层 电介质绝缘层 电光调制器 平面光波导 载流子迁移 波导结构 波导芯层 电光效应 降低器件 偏执电压 衬底层 化学势 上包层 下包层 右电极 左电极 调控 | ||
【主权项】：
1.一种基于掩埋型石墨烯电极的有机聚合物光波导吸收型光调制器，其特征在于：从下至上依次由衬底层(1)、有机聚合物波导下包层(2)、第一有机聚合物波导芯层(9)、第一石墨烯层(8)、电介质绝缘层(10)、第二石墨烯层(3)、第二有机聚合物波导芯层(6)、有机聚合物波导上包层(5)、左电极(7)和右电极(4)组成；第一有机聚合物波导芯层(9)和第二有机聚合物波导芯层(6)共同构成光调制器的波导芯层；第一有机聚合物波导芯层(9)位于有机聚合物波导下包层(2)的中间偏上位置，其上表面与有机聚合物波导下包层2的左侧上表面位于同一平面，在第一有机聚合物波导芯层(9)的上表面及有机聚合物波导下包层(2)的左侧上表面设置有第一石墨烯层(8)；第二有机聚合物波导芯层(6)位于有机聚合物波导上包层(5)的中间偏下位置，其下表面与有机聚合物波导下包层(5)的右侧下表面位于同一平面，在第二有机聚合物波导芯层(6)的下表面及有机聚合物波导上包层(5)的右侧下表面设置有第一石墨烯层(3)；有机聚合物波导上包层(5)的宽度小于有机聚合物波导下包层(2)的宽度，左电极(7)和右电极(4)位于有机聚合物波导上包层(5)左右两侧露出的第一石墨烯层(8)和第二石墨烯层(3)的上表面；第一石墨烯层(8)的上表面低于第二石墨烯层(3)的下表面，两者间在光调制器的中间区域有一定的交叠；电介质绝缘层(10)设置在第一石墨烯层(8)和第二石墨烯层(3)之间，且位于第一石墨烯层(8)和第二石墨烯层(3)的交叠区域内，交叠区域的宽度与电介质绝缘层(10)、第一有机聚合物波导芯层(9)和第二有机聚合物波导芯层(6)的宽度相同。
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