[发明专利]堆叠图像传感器及其制备方法

摘要

本发明提供一种堆叠图像传感器及其制备方法，堆叠图像传感器包括：光电二极管晶圆，光电二极管晶圆内形成有光电二极管；逻辑晶圆，键合于光电二极管晶圆上，逻辑晶圆内形成有图像传感器电路结构；硅通孔互连结构，位于光电二极管晶圆及所述逻辑晶圆内，且将光电二极管与图像传感器电路结构电连接。本发明的堆叠图像传感器通过将光电二极管与图像传感器电路结构分别形成于不同的晶圆中，可以增大光电二极管的受光面积，同时可以避免光电二极管产生的电子对图像传感器电路结构的信号产生干扰，还可以避免对堆叠图像传感器的满阱容量造成影响，避免串扰及图像滞后。

主权项

1.一种堆叠图像传感器，其特征在于，包括：光电二极管晶圆，所述光电二极管晶圆内形成有光电二极管；逻辑晶圆，键合于所述光电二极管晶圆上，所述逻辑晶圆内形成有图像传感器电路结构；硅通孔互连结构，位于所述光电二极管晶圆及所述逻辑晶圆内，且将所述光电二极管与所述图像传感器电路结构电连接。