[发明专利]基于少模氮化硅微环谐振器的折射率传感装置有效
| 申请号： | 201910607107.5 | 申请日： | 2019-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN112255195B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 何祖源;马麟;邱辞源;刘明慧;庞拂飞 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;G01N21/01 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 31201 | 代理人： | 王毓理;王锡麟 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于少模氮化硅微环谐振器的折射率传感装置，该少模氮化硅微环谐振器包括若干个并列设置的波导单元，每个单元由单根用于输入输出的单模直波导和单个用于谐振的少模环形波导组成，单元内的直波导和环形波导置于同一平面上且不相接触，单元间的直波导互相平行，单根单模直波导的两端分别作为输入端和输出端。采用全通型微环谐振器的单根直波导和单个环形波导结构支撑至少一个模式，能够使透射光谱中产生对应基模和高阶模的谐振峰，不同模式的光场对折射率变化的漂移不同，因此可以利用这一特点进行折射率传感的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 氮化 硅微环 谐振器 折射率 传感 装置 | ||
【主权项】：
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