[发明专利]一种应用于直写式曝光机的吸盘有效
| 申请号： | 201910607757.X | 申请日： | 2019-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN110456613B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 刘栋;蔡瑞;钱志斌;李伟成;张雷 | 申请（专利权）人： | 苏州源卓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215026 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种应用于直写式曝光机的吸盘，所述吸盘包括上吸盘和下吸盘，所述上吸盘和下吸盘构成所述吸盘的真空区域，所述真空区域内包括至少一个隔断筋，所述隔断筋将所述真空区域划分为至少两个独立的真空区域，所述每个独立的真空区域均包括一个通孔。通过在所述真空区域内设置隔断筋将所述真空区域划分为多个独立区域，并每个独立真空区域设置通孔连通至所述吸真空转接盒，或者所述副真空区域通过通孔连通至所述主真空区域。通过设定所述通孔的直径或者面积，减少漏气的流量和速度，达到控制漏气的影响。无需复杂的控制，结构简单方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 直写式 曝光 吸盘 | ||
【主权项】：
1.一种应用于直写式曝光机的吸盘，所述吸盘包括上吸盘和下吸盘，所述上吸盘和下吸盘构成所述吸盘的真空区域，其特征在于：所述上吸盘和所述下吸盘所构成的真空区域内包括至少一个隔断筋，所述隔断筋将所述真空区域划分为至少两个独立的真空区域，所述每个独立的真空区域均包括一个通孔。/n
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