[发明专利]缺陷检测系统及其缺陷检测方法在审
| 申请号： | 201910608060.4 | 申请日： | 2019-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN110243840A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 黄高;刘昌江;田茂;宋闯 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 刘艳;吴敏 |
| 地址： | 223302 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种缺陷检测系统及其缺陷检测方法，所述缺陷检测系统包括：缺陷检测模块，包括：显微成像装置，用于对待检测物的多个待检测区域进行显微成像，所述多个待检测区域在所述待检测物的表面排列形成第一图案；及缺陷标记模块，包括：待标记物，所述待标记物包括多个待标记区域，所述多个待标记区域在所述待标记物表面形成第二图案，所述第二图案与所述第一图案相同，所述多个待标记区域与所述多个待检测区域一一对应；及遮盖物，与所述待标记物的表面相对设置，所述遮盖物上设置有开孔，所述开孔暴露出所述待标记物的至少一个待标记区域。所述缺陷检测系统及其缺陷检测方法提高了缺陷定位的准确率。 | ||
| 搜索关键词： | 标记物 缺陷检测系统 标记区域 待检测区域 缺陷检测 图案 遮盖物 开孔 缺陷检测模块 显微成像装置 表面排列 表面相对 表面形成 待检测物 缺陷标记 缺陷定位 显微成像 检测物 准确率 暴露 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷检测系统，其特征在于，包括：缺陷检测模块，包括：显微成像装置，所述显微成像装置用于对待检测物的多个待检测区域分别进行显微成像，所述多个待检测区域在所述待检测物的表面排列形成第一图案；以及缺陷标记模块，包括：待标记物，所述待标记物包括多个待标记区域，所述多个待标记区域在所述待标记物的表面排列形成第二图案，所述第二图案与所述第一图案相同，且所述多个待标记区域与所述多个待检测区域一一对应；以及遮盖物，所述遮盖物与所述待标记物的表面相对设置，所述遮盖物上设置有开孔，所述开孔暴露出所述待标记物的至少一个待标记区域。
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