[发明专利]激光参数监测与矫正系统和方法

摘要

本发明公开了一种激光参数监测与矫正系统和方法，该系统包括：激光器系统、分束镜组件、检测矫正组件、信号处理电路和上位机；激光依次通过第一分束镜、第二分束镜、功率矫正单元和第三分束镜，再由第一电动镜架和第二电动镜架反射到第四分束镜；第一分束镜反射光被光电二极管接收，第二分束镜反射的光入射至光束质量分析仪，第三分束镜反射的光入射至功率计，第四分束镜透射的光入射至光束指向探测器单元，第四分束镜反射的光经衍射元件到达激光加工数控机床；上位机控制激光器系统的重复频率、功率矫正单元的实时功率及调整光束指向。通过本发明的技术方案，实现了对激光参数的实时监测与矫正，自动化程度高、操作简单，结构紧凑。

主权项

1.一种激光参数监测与矫正系统，其特征在于，包括：激光器系统(1)、分束镜组件、检测矫正组件、信号处理电路和上位机(23)；所述分束镜组件包括第一分束镜(3)、第二分束镜(6)、第三分束镜(11)和第四分束镜(17)，所述检测矫正组件包括光电二极管(4)、光束质量分析仪(7)、功率矫正单元(9)、功率计(12)、第一电动镜架(15)、第二电动镜架(14)、衍射元件(18)和光束指向探测器单元(20)，所述信号处理电路包括第一处理电路(2)、第二处理电路(5)、第三处理电路(8)、第四处理电路(10)、第五处理电路(13)、第六处理电路(16)、第七处理电路(21)和第八处理电路(22)；所述激光器系统(1)产生的激光依次通过所述第一分束镜(3)、所述第二分束镜(6)、所述功率矫正单元(9)和所述第三分束镜(11)，再依次由所述第一电动镜架(15)和所述第二电动镜架(14)反射到所述第四分束镜(17)；所述第一分束镜(3)反射的光被所述光电二极管(4)接收，所述第二分束镜(6)反射的光入射至所述光束质量分析仪(7)中，所述第三分束镜(11)反射的光入射至所述功率计(12)中，所述第四分束镜(17)透射的光入射至所述光束指向探测器单元(20)中，所述第四分束镜(17)反射的光经过所述衍射元件(18)到达激光加工数控机床(19)；所述第二处理电路(5)获取并处理所述光电二极管(4)的测量信号，并将处理结果发送至所述上位机(23)，所述第三处理电路(8)对所述光束质量分析仪(7)的测量值处理后发送至所述上位机(23)，所述第五处理电路(13)将所述功率计(12)的测量值处理后发送至所述上位机(23)，所述第七处理电路(21)将所述光束指向探测器单元(20)的测量信号处理后发送至所述上位机(23)；所述上位机(23)通过所述第一处理电路(2)控制所述激光器系统(1)的重复频率，通过所述第四处理电路(10)控制所述功率矫正单元(9)的实时功率，通过所述第六处理电路(16)控制所述第一电动镜架(15)、通过所述第八处理电路(22)控制所述第二电动镜架(14)动作以调整光束指向。